【摘 要】
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贝尔北部研究(BNR)有限公司和依脱克(Itek)公司联合研制了一种1英寸可拼接高分辨率时间延迟积分(TDI)成象器件。该器件是2048×96个象元的埋沟CCD成象仪,它采用BNR有限公司的
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贝尔北部研究(BNR)有限公司和依脱克(Itek)公司联合研制了一种1英寸可拼接高分辨率时间延迟积分(TDI)成象器件。该器件是2048×96个象元的埋沟CCD成象仪,它采用BNR有限公司的双层多晶硅栅工艺制造的。象元面积为13平方微米,时间延迟的工作沿96个象元的方向进行。CCD集成电路片头尾相连地拼接在一起,间隔只有二个象元。这样,允许建立的焦平面可具有数十万个象元。
A 1-inch stitchable high-resolution time delay integration (TDI) imaging device was jointly developed by Bell North Research (BNR) Ltd. and Itek. The device is a 2048 × 96 pixel buried CCD imager, which uses BNR’s double gate polysilicon gate technology manufacturing. The pixel area is 13 square micrometers, and the time delay is performed in the direction of 96 pixels. CCD integrated circuit connected together end to end stitched together, the interval of only two pixels. In this way, the focal plane that is allowed to be established can have hundreds of thousands of pixels.
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