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表面技术系统股份有限公司（STS）是等离子体处理技术（用于MEMS和先进电子器件制造和封装）的领头羊，它宣布已为韩国国家信息社会局（NIA）安装了两个VPX Pegasus设备。这些硅刻蚀设备将被广泛地用于深反应离子刻蚀。NIA是韩国政府的机构之一，
STS为韩国NIA安装Pegasus DRIE设备
【摘 要】
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表面技术系统股份有限公司（STS）是等离子体处理技术（用于MEMS和先进电子器件制造和封装）的领头羊，它宣布已为韩国国家信息社会局（NIA）安装了两个VPX Pegasus设备。这些硅刻蚀设备将
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2009年4期
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