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本文探讨了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺.该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间,在制造工艺上类似固态继电器,因此可望大幅度降低造价,是一种有前途的新型继电器.
基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究
【摘 要】
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本文探讨了一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺.该继电器的特点是体积小、重量轻、寿命长等,在性能上介于普通电磁继电器和固态继电器之间,在制造工艺上类似固态继
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z2期
【基金项目】
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国家自然科学基金 (699760 1 1 )资助项目
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