喷射沉积硅铝电子封装材料的组织与性能

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采用喷射沉积技术制备了电子封装材料70%Si—Al合金板材,制备的合金具有细小均匀的组织结构,各向同性,Si相粒子分布弥散。分析表明合金具有和半导体材料接近的热膨胀系数(7×10^-6~8×10^-6/℃)、优良的导热性能(〉100W/m·K),实验表明合金具有较好的机械加工性能,可以用普通的刀具进行加工,初步研究了热等静压在合金制备中的应用。
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