论文部分内容阅读
提出了采用双电场对硅／玻璃进行阳极键合的方法．采用这种方法，能够有效地避免和减少键合过程中的静电力对MEMS器件的可动敏感部件的损伤和破坏，同时实验结果也验证了该方法．
应用双电场减小阳极键合过程中MEMS器件可动部件的损伤
【摘 要】
：
提出了采用双电场对硅／玻璃进行阳极键合的方法．采用这种方法，能够有效地避免和减少键合过程中的静电力对MEMS器件的可动敏感部件的损伤和破坏，同时实验结果也验证了该方法．
【机 构】
：
北京工业大学电子信息与控制过程学院
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2004年10期
【基金项目】
：
北京市教委资助项目 (批准号 :KM2 0 0 3 10 0 0 5 0 0 9)~~
其他文献
研究了利用LP-MOCVD技术制备的不同B掺杂浓度对ZnO薄膜的微观结构和光电特性影响．对XRD和SEM的研究结果表明，B掺杂对ZnO薄膜的微观结构有重大影响．通过优化工艺，当B2H6流量为17sc
研究、探讨青岛近岸大气气溶胶中多芳烃类化合物的浓度水平、变化特征及影响因素.用高效液相色谱-荧光检测法分析了青岛近岸大气气溶胶中的多环芳烃(PAHs)的含量水平,共检出1
随着经济的发展以及城市化进程的加快．绿地的建设在城市中占据着越来越大的面积。为了确保城市绿地建设顺利进行．充分发挥城市园林的作用，使城市的环境更加舒适、美观和整洁，政府
介绍了一个采用折叠内插结构的CMOS模数转换器，适合于嵌入式应用．该电路与标准的数字工艺完全兼容，经过改进的无需电阻就能实现的折叠模块有助于减小芯片面积．在输入级，失调平均技