【摘 要】
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以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来，中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展，作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。
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以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来，中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展，作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大。介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状，并对比了不同产品的技术特点。阐述了国产低温泵进军集成电路制造业的历程与现状。
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