TiO2-xNx薄膜托槽的摩擦性能研究

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通过射频磁控溅射法,在不锈钢金属托槽表面制备了不同厚度的TiO2-xNx 薄膜.薄膜的晶体结构,表面形貌和表面粗糙度分别通过X 射线衍射、扫描电子显微镜和2206型表面粗糙度测量仪分析.通过14FW 往复摩擦磨损测试仪考察薄膜托槽体外摩擦性能.结果显示,所制备的纳米TiO2-x Nx 薄膜为锐钛矿型,结构均匀致密.不同厚度的TiO2-x Nx 薄膜托槽的动、静摩擦系数不论干燥或湿润条件下均小于对照组.在同一湿性环境下,随薄膜厚度增加TiO2-xNx 薄膜托槽摩擦系数呈递减趋势.TiO2-xNx 薄膜托槽表
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