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Simulation of Dual-Electrode Capacitively Coupled Plasma Discharges
Simulation of Dual-Electrode Capacitively Coupled Plasma Discharges
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cxdzxc12
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
LU Yijia
JI Linhong
CHENG Jia
【机 构】
:
State Key Laboratory of Tribology, Department of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijin
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2016年12期
【关键词】
:
dual-electrode
non-uniformity
capacitively coupled plasma
fluid model
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本文通过对荣华二采区10<
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