基于波长移相干涉的台阶测量技术

来源 :测试技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bylee

【摘要】

：

概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域

【作者】

：

于瀛洁孙流星

【机构】

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上海大学精密机械工程系

【出处】

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测试技术学报

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

干涉技术波长移相台阶测量时域处理算法频域处理算法 interferometry wavelength phase-shifting step heigh

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概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性.

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