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本文报导用特殊方法观察到气流在MOCVD反应室里的分布形态,并以此为根据,通入不同流量的有机物生长HgCdTe。测试结果表明:气体流量对HgCdTe材料组份均匀性影响很大。在一个适当的流量下,能生长出良好的HgCdTe。
气流分布对MOCVD HgCdTe组份均匀性的影响
【摘 要】
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本文报导用特殊方法观察到气流在MOCVD反应室里的分布形态,并以此为根据,通入不同流量的有机物生长HgCdTe。测试结果表明:气体流量对HgCdTe材料组份均匀性影响很大。在一个适
【机 构】
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上海冶金所,华北光电所,华北光电所上海200233,上海200233,北京100015,北京100015
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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1992年3期
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