论文部分内容阅读
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理，并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后，给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。
压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究
【摘 要】
：
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理，并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2007年7期
其他文献
农村社会养老保险制度建立的关键就在于养老保险基金的筹集。建立完善的筹集机制应确立科学的筹资标准,明确政府、集体及个人的责任,多渠道筹集农村社会养老保险基金。文章结
社会经济与现代技术的发展推动了新媒体时代的到来。新媒体环境下,传播渠道与传播方式等的改变,导致广播、电视、报纸等传统媒体受到了较为强烈的冲击和影响。越来越多的受众
针对目前对于产学研协同创新绩效影响因素的理论研究较为松散、缺乏系统化研究成果的现实，运用扎根理论对现有研究中产学研协同创新绩效影响因素内容进行开放式编码、主轴性编
目的探讨天麻素注射液联合阿普唑仑对神经衰弱患者抑郁评分的影响。方法该研究选取2011年4月—2014年5月收治的177例神经衰弱患者为研究对象,根据其意愿分成A、B两组。B组予
笔者所在中等职业学校会计专业学生的培养方向主要有两种:一种为以就业为导向,着重培养学生的职业能力;另一种为培养学生进入高职院校继续深造,职业能力与基础学习能力并重。
约瑟夫森结是一种对磁通高度敏感的电子元器件。约瑟夫森结加上适当的辅助电路可构成许多测量器件。本文对约瑟夫森结的特性和由其构成的微波QUBIT的种类及性质进行了阐述,对
济钢炼钢厂新投产的6#板坯连铸机铸坯内部质量不稳定，中心偏析比较严重，影响轧制质量。通过扇形段开口度测量与校验技术的创新改进、轻压下模型的优化以及一系列工艺操作优化措
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的:探讨免费医学生学业自我效能感在班级心理氛围和学业拖延间的中介作用。方法:采用大学生班级心理氛围评定量表、学业自我效能感问卷以及拖延评估量表,对江西省某医学院