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本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相变行为和性能。在一定化学成分下，晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的葙变温度一般较高，马氏体相在一定化学成分下，晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及有很大的影响。「富钛薄膜的相变温度一般较高。马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。富钛薄膜在循环或者时效时，相变特性和结构显示了良好的稳定性。研究结果表明，富钛的镍钛