论文部分内容阅读
以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料，添加少量聚乙烯醇（PVA）造粒，模压成形获得素坯，在氧气氛、1550℃烧结素坯制备IT0靶材。采用100～600MPa的成形压力，添加0．5％，1．0％，2．5％的PVA制备靶材，研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响。结果表明，成形压力在100～500MPa内，素坯及靶材密度随压力升高而增大，500MPa时达到最大值，分别为47．5％和99．16％。600MPa时素坯和靶材密度略微降低。成形压力越高，摩擦导致的压力损失越大，素坯脱模越困难。增大PVA添加量，素坯更