• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
  2. 您的位置
  3. 首页
  4. 期刊论文
  5. 倒装GaN基发光二极管阵列微透镜的粗化技术

倒装GaN基发光二极管阵列微透镜的粗化技术

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：suzhixie66
【摘 要】
：
通过模拟计算,分析了阵列微透镜粗化对倒装结构GaN基LED提取效率的影响.并采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术在蓝宝石表面制备阵列微透镜,实现倒装结构GaN基LED出光面粗化
【作 者】
：
刘志强 王良臣 伊晓燕 王立彬 陈宇 郭德博 马龙 
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2007年z1期
【关键词】
：
GAN基LED ICP 阵列微透镜 粗化 
【基金项目】
：
“十五”国家重大攻关计划资助项目
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文 赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过模拟计算,分析了阵列微透镜粗化对倒装结构GaN基LED提取效率的影响.并采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术在蓝宝石表面制备阵列微透镜,实现倒装结构GaN基LED出光面粗化.测试结果表明,相对于普通倒装结构,阵列微透镜表面粗化可以使LED提取效率提高约50%,测试结果与模拟计算值相符合.
其他文献
2011年深化经济体制改革重点工作
4月20日,国务院总理温家宝主持召开了国务院常务会议,研究部署2011年深化经济体制改革重点工作。会议指出,2011年是＂十二五＂开局之年,要以更大的决心和勇气推进重点领域和关键
期刊
经济体制改革全面协调可持续发展国务院常务会议经济发展方式国务院总理社会发展经济增长顶层设计
新春佳节同欢度 亲切握手话未来
本刊讯2月12日至15日，中共中央总书记、国家主席、中央军委主席胡锦涛来到福建省漳州、龙岩、厦门等地，同广大干部群众和在闽台湾同胞共度新春佳节。
期刊
中共中央总书记国家主席中央军委台湾同胞干部群众福建省胡锦涛
积极学习贯彻“十二五”规划纲要
“十二五”规划纲要中多处强调促进中小企业健康发展。为方便中小企业读者学习贯彻，特摘录有关内容，并标明录自何篇、章、节。请读者在加强整体性阅读的基础上，更好地领会政策精
期刊
“十二五”读者学习规划政策法规体系产业核心竞争力专业化分工协作中小企业产品质量
为实现“十一五”节能减排目标而努力
2010年是“十一五”计划的最后一年，也是实现“十一五”节能减排目标的决战之年。党中央、国务院对抓好节能减排工作非常重视，特别是对实现“十一五”节能减排目标，做出了一系列
期刊
“十一五”计划节能减排国务院常务会议2010年温家宝总理党中央部署
襄阳市城市化与产业结构优化发展研究
提升城市化水平,优化产业结构是襄阳市发展的重点方向。促进城市化进程和优化产业结构休戚相关,通过线性回归分析、三大产业结构偏离度和相关数据分析分别研究户籍制度改革与
期刊
产业结构偏离度户籍制度改革县域产业结构回归分析
甲状腺微小乳头状癌的临床治疗分析
目的：观察甲状腺微小乳头状癌的临床手术治疗效果和并发症发生情况。方法：选取诊断治疗的甲状腺微小乳头状癌患者120例作为研究对象,分别采取不同的手术方式进行治疗,统计治疗
期刊
甲状腺微小乳头状癌临床效果中央区淋巴结转移并发症Papillary thyroid carcinoma Clinical effect Lymph
农村社区卫生机构参与居家养老服务模式探讨
农村高龄、失能、半失能、空巢老人数量的不断增加,对我国多样化、健康化养老服务提出了更高的要求,居家养老是农村养老服务的主体,社区卫生机构是居家老人健康的主要承担者,
期刊
农村社区卫生机构居家养老服务
新型维生素E类似物对异育银鲫的生长性能、部分血清学和免疫学参数及机体抗氧化能力的影响
试验旨在研究在饲料中添加不同含量维生素E类似物和常规含量的维生素E,对异育银鲫的生长性能、肌肉成分、部分血清学和免疫学参数及对机体抗氧化能力的影响。在基础饲料中分
期刊
异育银鲫维生素E维生素E类似物生长性能抗氧化能力Gibel carp vitamin E vitamin E analogues growth per
舒芬太尼联合丙泊酚用于人工流产100例
目的比较舒芬太尼与芬太尼分别联合丙泊酚用于人工流产（人流）的麻醉效果。方法选择ASAⅠ-Ⅱ级,无人流禁忌证及药物变态反应史的孕妇200例,随机分为两组,每组100例。I组麻醉用药
期刊
舒芬太尼丙泊酚人工流产
依地福新抗spm1重组酵母生长作用研究
目的将spm1基因再转染至相应的粟酒裂殖酵母突变体spm1Δ中,观察依地福新对其生长的抵抗作用。方法抽提野生型粟酒裂殖酵母细胞的RNA;RTPCR制备粟酒裂殖酵母细胞的cDNA; PCR
期刊
依地福新粟酒裂殖酵母spm1基因表达