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阵列微透镜相关论文
倒装GaN基发光二极管阵列微透镜的粗化技术
通过模拟计算,分析了阵列微透镜粗化对倒装结构GaN基LED提取效率的影响.并采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术在蓝宝石表面制备......
期刊
GAN基LED
ICP
阵列微透镜
粗化
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