【摘 要】
：
利用宏模型对MEMS系统进行系统级仿真是求解MEMS耦合问题的有效方法。对大规模系统方程通过矩阵子空间投影实现自由度缩聚来建立宏模型的方法得到了广泛应用。常用的Krylov子
【机 构】
：
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
论文部分内容阅读
利用宏模型对MEMS系统进行系统级仿真是求解MEMS耦合问题的有效方法。对大规模系统方程通过矩阵子空间投影实现自由度缩聚来建立宏模型的方法得到了广泛应用。常用的Krylov子空间法只能对状态空间描述的一阶系统进行降阶处理。本文介绍了二阶Krylov子空间理论,运用Arnold i算法直接对大规模二阶系统进行自由度缩聚来生成宏模型。将此方法与有限元数值分析结合对电热驱动微夹钳进行了宏建模。对电热微夹钳宏模型的仿真结果表明此方法建立的宏模型可以准确反应系统的动态行为,满足精度要求,同时极大地降低了计算复杂度,
其他文献
晶圆测试是半导体制程中的重要步骤，其准确性影响产品成本和质量，复测对保证其准确性发挥了重要的作用。晶圆制造和测试中都可能出现异常，情况复杂，复测可以帮助判定和消除这些异
在工程建设领域，为了实现投资经济效益的最大化，工程造价在各行业的应用已是十分广泛。其中，水利工程造价在水利行业的运用中发挥着巨大的作用。但是由于水利工程有着周期长、投
<正>陈卫民说:'科技扶贫指导员不仅要从科学技术上指导帮扶村民,也要会借用自己的项目申请等经验帮助村民整合资源,撬动资金,推动村里建设与发展。'7月27日,宁夏回族
随着社会经济的发展，计算机信息技术被运用在各行各业并取得了极为杰出的成就，信息技术已成为现代化企业不可或缺的重要因素，但是也正因为信息技术不断发展，信息技术知识普及范围
学生要想扩大词汇量，必须掌握有效的英语单词记忆的方法。本文在此要介绍的几个方法是：阅读、背诵记忆法；词根、词缀分析法；使用英英辞典扩大词汇量；归类记单词；联想法记单词；读音规
本文利用生成函数推导出网络升级游戏当给定每关升级概率时用n步通关的概率及通关所需步数（打一关无论成功失败都算一步）的数学期望公式，使游戏开发者可以把其作为参照进行合理