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研究了不同衬底温度下Ｃ６０膜的热壁外延生长特性．Ｘ射线衍射结果表明，当衬底温度高于１６０℃时，在氟金云母（００１）面上外延生长出完全（１１１）取向了Ｃ６０膜，此外，对薄膜结晶的完整性及晶粒尺寸的随温度的变化进行了讨论．
热壁外延C_(60)膜的特性研究
【摘 要】
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研究了不同衬底温度下Ｃ６０膜的热壁外延生长特性．Ｘ射线衍射结果表明，当衬底温度高于１６０℃时，在氟金云母（００１）面上外延生长出完全（１１１）取向了Ｃ６０膜，此外，对薄膜结晶的完整性及晶粒尺寸的随温度的变化进行
【机 构】
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北京工业大学应用物理系,兰州大学物理系,中国空间技术研究院
【出 处】
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北京工业大学学报
【发表日期】
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1998年01期
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