【摘 要】
：
虽然现在推测浸没光刻技术的量产时间还太早，但是许多公司正在努力确定生产线何时能从干法工艺跃为湿法工艺。根据最近在San Jose举办的SPIE Microlithography会议的迹象来看，
【机 构】
：
SemiconductorInternational高级编辑
论文部分内容阅读
虽然现在推测浸没光刻技术的量产时间还太早，但是许多公司正在努力确定生产线何时能从干法工艺跃为湿法工艺。根据最近在San Jose举办的SPIE Microlithography会议的迹象来看，工程师们正在迅速克服开发和生产之间存在的各种难题。在展览中，TSMC宣布它已采用浸没光刻技术制作了测试晶圆，每个300mm晶圆上无论何处都只有三到七个缺陷．可与干法193nm光刻技术相媲美。TSMC人说他们正用所拥有的缺陷减少专利技术达到此水平。在SPIE专题报告中，IMEC的Kurt Ronse表达了浸没光刻技术不
其他文献
采用铸造法制备了高钨高速钢,利用XRD、OM和SEM研究热处理后高钨高速钢中碳化物与基体的演变。结果表明:铸态组织中一次碳化物为M6C,主要沿晶界分布,M6C与基体之间存在过渡区
本文从刑法的实体规范和运作过程相互结合的角度,提出了刑法理性的概念,强调刑法理性贯彻刑法立法和司法的全过程,是保证刑法合理性的基本原则。刑法的目的性、合理性、节制
在我国,行政审批、行政许可的涵义及其两者之间的关系极为复杂且极具争议,《行政许可法》最终采纳了同一概念说,从立法上将两者统一起来。但在实际执行中,行政审批与行政许可
通过对当下民事诉讼程序非正常运作的实证分析,探知当前影响程序运作的各种力量及其互动关系,权力不再是影响程序运作的唯一因素,而交织着法院和当事人的交往互动。程序体现
西山庄金矿位于翼城县境内,为一小型金矿床,处于晋南塔儿山-二峰山铁、多金属成矿区内。区内发育多期次剪切带型构造,诱发了中酸性岩浆的侵入,同时也促使了深部含金丰度较高
社会变迁为民事主体提起诉讼提供了制度背景。行动策略经常影响权利实现的程度。传媒是诉讼过程中的重要支撑机构。传媒通过重构案件细节、塑造法律事实、提供知识、制造公共
随着我国社会经济的不断发展,消防部队的作战对象日趋复杂,传统的消防战训工作理论、模式遇到了前所未有的挑战。如何与时俱进,尽快适应新形势、新任务的要求,提升部队战斗力
依法治国是中国社会发展的必然选择,依法执政是依法治国的核心内容和要求。共产党依法执政、提高执政能力,需要解决一系列重大问题:巩固执政党执政的合法性基础;解决执政党在
我国在推进法治建设的过程中,一直着力解决的经济建设中的计划与市场、政权建设中的制度化与非制度化、利益分配上的国家与社会等三个逻辑上相互关联的问题。在解决这些问题