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根据压电微泵的结构及其功能可将其划分成6个功能块或子系统:压电片子系统、泵腔、入口阀子系统、出口阀子系统、入口通道子系统和出口通道子系统.对6个子系统建立终端特性模型,并进行有关终端特性分析.最后,将压电微泵子系统的终端特性模型进行了组合,得到整个系统的特性模型.对此进行分析,可以方便地获得压电微泵的性能特性.