半导体纳米级结构及其应用

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随着对半导体微结构(如量子阱,超晶格,以下统称为二维结构)研究的深入,以及半导体超精细加工(如电子束光刻)技术的发展,人们已可制成一类新的半导体结构,即半导体纳米级结构。由于其尺度已小到可与电子的费米波长或散射长度相比拟,这类结构中的电子只能处于量子化的态上。根据其物理结构特征,人们又 With the development of semiconductor micro-structures (such as quantum wells and superlattices, hereinafter referred to as two-dimensional structures) and the development of semiconductor ultra-fine processing (such as electron beam lithography), a new class of new Of the semiconductor structure, that is, semiconductor nanostructures. Due to their small size comparable to the Fermi or scattering lengths of electrons, the electrons in such structures can only be in a quantum state. According to their physical structural features, people again
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