【摘 要】
：
研究了等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)生长的无氨氮化硅薄膜作为掩蔽层在MEMS硅腐蚀工艺中的应用.比较了PECVD不同工艺条件(衬底温度和功率)以及不同四甲基氢氧化铵(TMAH)
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;专用集成电路重点实验室,石家庄,050051
论文部分内容阅读
研究了等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)生长的无氨氮化硅薄膜作为掩蔽层在MEMS硅腐蚀工艺中的应用.比较了PECVD不同工艺条件(衬底温度和功率)以及不同四甲基氢氧化铵(TMAH)硅腐蚀液温度对无氨氮化硅薄膜硅腐蚀掩蔽效果的影响.通过优化无氨氮化硅薄膜生长条件和硅腐蚀液温度,得到了高质量的氮化硅薄膜,颗粒以及针孔密度较少,0.2 μm以上颗粒度小于100,提高了硅腐蚀掩蔽选择比.实验结果显示优化生长条件的氮化硅薄膜(衬底温度350℃,功率30 W),在85℃的TMAH硅腐蚀液中,硅的腐蚀速率为68tm/h,氮化硅薄膜腐蚀速率为33.2 nm/h,硅与氮化硅的腐蚀选择比为2048,满足MEMS体硅腐蚀工艺对于掩膜特性的要求.
其他文献
经眼动脉灌注化学药物治疗(IAC)是一种通过微导管将化学治疗药物精准注入眼动脉治疗视网膜母细胞瘤(RB)的介入放射治疗方法。与全身化学药物治疗相比，IAC能够显著提高晚期和复发性RB的保眼率，同时未发现严重不良反应。但由于IAC全身药物剂量较低，不能有效杀灭肿瘤细胞，所以对潜在的眼外肿瘤细胞不能有效控制。骨髓抑制是其主要的全身并发症，表现为一种或多种血细胞减少。局部并发症包括眼周皮肤红肿、多泪、上
【摘 要】学生进入高三复习阶段，各种类型的考试比较多，有“考”就有“评”由于高三时间紧任务重，因此，一节高效的试卷讲评课不但有助于学生了解自己的知识和能力水平，激发他们的求知欲，完善知识系统和思维方式，提高分析问题和解决问题的能力。还可以及时的反应教与学双方存在的问题，从而提高教学效果。为了充分发挥试卷讲评课的功能，使高三最后阶段的复习效果更好，笔者从以下两个方面进行了有关探讨。 【关键词】高三
如今,Web安全使用技术在各领域都有了越来越广泛的应用,但是因为犯罪分子针对Web使用程序中有关安全漏洞的开发、利用及恶意攻击技术方法的不断出现,造成Web的使用程序在给使用者们提供方便、简洁服务的同时,这些使用者不得不为自身系统程序可能会存在的Web安全漏洞而担心。因此,针对Web使用程序进行有关安全测验,以期找出其可能存在的安全隐患,并进行进一步的修复、升级,可以更加有效地提高Web使用程序的
在介绍虚拟仪器和传感器的作用和特点的基础上,介绍它们在某新型中频电机电气参数测试中的应用.
【摘 要】中国人学习汉语要朗读，中国人学习英语更要朗读。朗读是我国传统教学中一种常用且行之有效的教学方法。朗读有助于激发和培养学生的学习兴趣，帮助学生树立自信心，养成良好的学习习惯，发展自主学习的能力。朗读有助于学生对单词、短语的识记。朗读有助于学生对课文的理解和背诵。 【关键词】新课改 朗诵 初中教学 北宋教育家张载也说过：“书须成诵，则学进矣。”中国人学习汉语要朗读，中国人学习英语更要朗读
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
转矩和磁链控制是电力传动系统的根本控制规律，本文讨论了异步向动态模型的特点，分析了适量控制与直接转矩控制系统的控制方法及其实现.
本文根据中国优选法统筹法与经济数学研究会为2017年第七届MathorCup大学生数学建模挑战赛提供的共享单车数据,使用BP神经网络进行需求预测,从供需关系角度出发分析共享单车供需缺口。在此基础上,基于动态规划建立SSE动态时间序列模型,并通过Lingo软件求解,得到了各区域共享单车最优的调度方案。
标准理想的脊髓损伤模型对于阐明脊髓损伤的病理生理机制和评价损伤后干预手段的效果非常关键.我们设计了一种可以制造不同部位的标准化的脊髓损伤的实验装置,现介绍如下。