微纳米加工工艺数据库的设计研究

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面向973重大科学研究计划“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”、“低维等离子体系统的量子调制及应用研究”和江苏省重大成果转化项目“第三代半导体产业发展关键材料-氮化稼(GaN)晶片开发及产业化”的微纳米结构和器件制备需要,依托苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台和测试分析平台产生的丰富的微纳米加工工艺数据资源,研究设计一个微纳加工工艺数据库,包括原始数据存储数据库、数据整合集成数据库、运行状态数据库、典型问题数据库、异常信息数据库等,实现对微纳米器件加工工艺的有效收集、整理和加工
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