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研究开发防水透湿聚酯（PET）织物,利用磁控溅射法在PET薄膜及织物上制备碳氟高分子膜,利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、光电子能谱（XPS）对PET基底上碳氟膜的纳米结构及均匀性进行研究。SEM研究表明,一定条件下制备的碳氟膜表现出一定的有序性,呈现一定的微观结构均匀性,具有网络和棒状纳米自组装的特征;在一定条件下得到了开发防水透湿织物所需的微观网络结构。XRD研究表明碳氟膜是部分结晶的。XPS研究表明碳氟膜的氟碳面积比随着压力的增加而增加。