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采用溶胶．凝胶法，结合氨水后处理工艺制备了抗真空有机物污染的二氧化硅增透膜。该膜峰值透光率为99．8％，在有机污染的真空系统中（10^-3Pa）保持168h，透光率曲线变化微小，而同样条件下常规二氧化硅增透膜的峰值透光率下降至95．5％。并采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等测试手段分析了薄膜的特性。