论文部分内容阅读
为了对薄膜厚度进行测量，采用白光谱域光学相干层析成像的测量方法，进行了理论分析和实验验证，对以玻璃为基片的单层和多层薄膜样品进行了层析成像实验，获得了样品的2维层析图像。结果表明，该系统不仅能显示薄膜样品内部的微观结构，而且能从2维层析图像中得到单层和多层薄膜的厚度（分别为68μm和30μm），测量值与理论值相吻合，从而验证了测量理论正确性。该系统具有较高分辨率，可实现快速成像，满足实际工业测量需要。