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用脉冲激光沉积（PLD）方法，在单晶Si（100）面上制备超硬非晶类金刚石薄膜（α—DLC），研究了α—DLC的表面形貌、结构、应力、硬度及杨氏模量。原子力显微镜（AFM）和扫描电镜（SEM）图像显示，薄膜表面平整、致密且光滑（最大均方根粗糙度仅为0．877nm）。小角衍射（XRD）分析表明薄膜中的结构为非晶态并且有巨大的残余应力，计算表明，最大残余应力可达34．9GPa，并且与激光重复频率和能量密度成正比，一定温度的原位退火可以有效降低薄膜的残余应力；纳米压痕测试表明薄膜硬度〉20GPa，弹性模量〉20