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桶状单晶片敏感元件由压电陶瓷（PZT-5）薄圆片粘贴在圆筒状金属外壳底部构成。运用有限元法，采用简化的模型对敏感元件进行振动模态仿真，分析了其结构尺寸与振动频率的关系，探讨了影响传感器工作频率的关键因素，优化了元件结构；对敏感元件实体进行实验测试，其1阶振动频率与仿真结果吻合较好。
桶状单晶片敏感元件的振动分析
【摘 要】
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桶状单晶片敏感元件由压电陶瓷（PZT-5）薄圆片粘贴在圆筒状金属外壳底部构成。运用有限元法，采用简化的模型对敏感元件进行振动模态仿真，分析了其结构尺寸与振动频率的关系，探讨了
【机 构】
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北京信息工程学院传感器重点实验室
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2009年5期
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