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等离子体技术越来越受到人们的重视。氢气由于自身性质的特殊性，其等离子体具有其他气体等离子体所没有的特性，如氢气等离子体特殊的还原性能。对低温氢气等离子体的用途作了概述。
低温氢气等离子体的应用
【摘 要】
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等离子体技术越来越受到人们的重视。氢气由于自身性质的特殊性，其等离子体具有其他气体等离子体所没有的特性，如氢气等离子体特殊的还原性能。对低温氢气等离子体的用途作了概
【机 构】
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苏州大学材料工程学院
【出 处】
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化学工业与工程技术
【发表日期】
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2006年3期
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