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为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题，采用一种新的基于群体智能的优化算法——粒子群算法处理实验数据．以单层吸收薄膜的测量为例，利用该算法进行数据处理．实验结果表明，可以同时获得3个薄膜参数（折射率n，消光系数k和薄膜厚度d），而且在确切参数范围未知情况下，大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解．该算法与遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较，计算精度高，收敛速度快．