【摘 要】
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薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,TFT-LCD)的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击穿(electrostaticdischarge,ESD)现象,导致T
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薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,TFT-LCD)的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击穿(electrostaticdischarge,ESD)现象,导致TFT-LCD器件被破坏,极大地影响了良品率。本文根据薄膜晶体管(TFT)生产工艺的实际情况,阐述了产线里各类产品型号的ESD发生状况。在此基础上,对各种设计、工艺过程和工艺参数对ESD造成的影响进行了分析研究,为实际的生产提供了指导作用。
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