【摘 要】
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针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点，研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性，利用其响应时间短输出带宽大的特性，研究了压电陶瓷作为激励源
【机 构】
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武汉科技大学机械自动化学院,大连理工大学微系统研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金重点基金资助(50535030);电子测试技术国家重点实验室基金资助
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针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点，研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性，利用其响应时间短输出带宽大的特性，研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用，并建立了压电陶瓷底座激励装置，成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率；利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点，研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用，结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn。
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