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本文从气氛、热场、坩锅材料、埚位、埚转、晶转、变参数拉晶等几个方面的论述了ＣＺ硅单晶初始氧浓度和氧的轴向均匀性的控制方法，着重研究了变参数拉晶对氧的轴向均匀性控制的影响。
直拉硅单晶中氧的轴向均匀性控制
【摘 要】
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本文从气氛、热场、坩锅材料、埚位、埚转、晶转、变参数拉晶等几个方面的论述了ＣＺ硅单晶初始氧浓度和氧的轴向均匀性的控制方法，着重研究了变参数拉晶对氧的轴向均匀性控制的影
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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2000年3期
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