轴向均匀性控制相关硕士博士期刊学术论文

本文从气氛、热场、坩锅材料、埚位、埚转、晶转、变参数拉晶等几个方面的论述了ＣＺ硅单晶初始氧浓度和氧的轴向均匀性的控制方法，着重......