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文章介绍了一种纳米双悬梁支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型，对器件的谐振特性进行模拟，结果表明，以Si3N4为功能材料，最小线宽175纳米的器件，其谐振频率18．1MHz。在常温真空环境下，采用静电驱动的双悬梁支撑结构，有效地抑制了扭转模式谐振的干扰。用该结构作质量传感器，精度达到6．25×10^-19g／Hz，作电荷计，精度可以达到0．3e／Hz（e为电子电荷）。