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自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来，这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来，在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中，所需要的激光平均功率也日益提高，
20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器
【摘 要】
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自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来，这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来，在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处
【机 构】
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中科院上海光机所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1987年1期
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