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着重探讨了氧的低温异常扩散现象，研究了氮在高温下扩散速率、扩散机理方面的进展，并对上前存在的一些尚未解决的问题进行了讨论。
硅中氧氮扩散研究进展
【摘 要】
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着重探讨了氧的低温异常扩散现象，研究了氮在高温下扩散速率、扩散机理方面的进展，并对上前存在的一些尚未解决的问题进行了讨论。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年6期
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