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受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品，该灯采用一个充以低压气体的玻壳，两个电极至少有一个置于玻壳外，常用玻壳内无电极的结构。它可产生真空紫外线或紫外线＋臭氧气，用于消毒杀菌清洁液晶基片、集成电路晶片等领域。
受激准分子灯
【摘 要】
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受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品，该灯采用一个充以低压气体的玻壳，两个电极至少有一个置于玻壳外，常用玻壳内无电极的结构。它可产生真空紫外线或紫外线＋臭氧气，用于消毒
【机 构】
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华东电子管厂
【出 处】
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光源与照明
【发表日期】
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2006年1期
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