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提出了一种新的入射波设置'三波法',即将光子扫描隧道显微镜(PSTM)系统中的入射波、全内反射波和透射的隐失波同时设置为时域有限差分(FDTD)计算区域的入射源,克服了PSTM中应用FDTD所遇到的存在样品台(分层界面)和全内反射等困难.给出了PSTM中探针针尖与样品相互作用和光子隧穿的物理图像.模拟了PSTM探针等高扫描过程.给出了PSTM图像,比较了单光束照射与π对称照射等高度扫描曲线的不同,前者有一定的偏移,后者可纠正偏移.