【摘 要】
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压电陶瓷换能器两端的银电极要求较高的平面度及较好的表面质量。由于其上的银电极极薄(50~60μm),加工余量很少。一般的超精密加工过程易出现银电极加工过量的现象,因此本研
【机 构】
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浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,浙江工业大学化学工程与材料学院
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压电陶瓷换能器两端的银电极要求较高的平面度及较好的表面质量。由于其上的银电极极薄(50~60μm),加工余量很少。一般的超精密加工过程易出现银电极加工过量的现象,因此本研究直接采用单位去除量少的超精密抛光来对超薄银电极进行超精密加工,并采用高平面度的锡盘,使银电极保留完整且平面度较高。本文通过各组工艺试验,比较研究了加工压力、抛光速度及抛光液对压电陶瓷银电极平面度、表面去除量的影响,并得到超薄银电极的最佳加工工艺。
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