半导体桥(SCB)的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xialin1983922
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目前常用的点火器Ni-Cr金属桥丝(热桥丝)体积较大,点火能量高(几十毫焦),作用时间长(几毫秒)且易误触发,本文中采用半导体器件物集成电路技术研制的新一代点火器--半导体桥(SCB)体积小(为热桥丝三十分之一),结构上兼有Si桥区倒圆点和Ti、Al金属导体倒圆点两大特点,其占火临界能量可降低到3-5mJ,作用时间可缩短到5μs,从而能快速产生热等离子体来引爆猛炸药,同时,SCB还具有较高的可靠性
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