NIST揭示硅材料中的疲劳效应

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美国国家标准和技术研究所(NIST)的研究人员开发了一种机械应力工艺,该工艺可以使块状硅晶体产生裂纹。在这之前,人们一直认为硅不受这类故障的影响。结果显示,这种工艺将普遍影响被认为具有广泛应用的硅基MEMS器件的设计。
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