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期刊论文
NIST揭示硅材料中的疲劳效应
NIST揭示硅材料中的疲劳效应
来源 :今日电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:czp168
【摘 要】
:
美国国家标准和技术研究所(NIST)的研究人员开发了一种机械应力工艺,该工艺可以使块状硅晶体产生裂纹。在这之前,人们一直认为硅不受这类故障的影响。结果显示,这种工艺将普遍影响
【作 者】
:
Christina Nickolas
【出 处】
:
今日电子
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
硅材料
疲劳效应
NIST
美国国家标准
MEMS器件
机械应力
研究人员
工艺
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美国国家标准和技术研究所(NIST)的研究人员开发了一种机械应力工艺,该工艺可以使块状硅晶体产生裂纹。在这之前,人们一直认为硅不受这类故障的影响。结果显示,这种工艺将普遍影响被认为具有广泛应用的硅基MEMS器件的设计。
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