【摘 要】
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本文主要闡述由乙炔在1100℃热解制备密度为0.9—1.1g/cm~3疏松层的工艺参数。致密层由丙烯(C_3H_6)在1400℃热解沉积而得,当U=1.8ml/cm~2·min,沉积速率Rw=4μm/min时,得到
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本文主要闡述由乙炔在1100℃热解制备密度为0.9—1.1g/cm~3疏松层的工艺参数。致密层由丙烯(C_3H_6)在1400℃热解沉积而得,当U=1.8ml/cm~2·min,沉积速率Rw=4μm/min时,得到了密度为1.85—1.95g/cm~3的各向同性(BAF<1.1)的致密热解碳层。介紹了用MTS(CH_3SiCl_3)热解沉积碳化硅层时,几个主要工艺参数对其性能的影响情况,指出在溫度为1500—1600℃的范围内,在合适的MTS浓度和含氬量下,可以得到单相、致密、高硬度的沉积层。
This paper mainly expounds the process parameters of the density of 0.9-1.1g / cm ~ 3 loose layer prepared by acetylene pyrolysis at 1100 ℃. The dense layer was obtained by the pyrolysis deposition of propylene (C_3H_6) at 1400 ℃. When the deposition rate was Rw = 4μm / min and U = 1.8ml / cm ~ 2 · min, the density of 1.85-1.95g / Isotropic (BAF <1.1) dense pyrolytic carbon layer. The effects of several main process parameters on the performance of silicon carbide layers by pyrolysis deposition of MTS (CH_3SiCl_3) are introduced. It is pointed out that under the appropriate MTS concentration and argon content in the range of 1500-1600 ℃, You can get single-phase, dense, high-hardness deposits.
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