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在21世纪即将来临之际,NASA继“新盛世”计划之后,又推出X2000年计划,旨在为下世纪初继续执行“较快,较好,较省”地发展空间技术的方针,实现年发射12 ̄15个深空探测器的目标,并开发以微电子技术为中心的新的微系统技术。X2000计划从1997年起,每3年交付一批可实用的新技术,共分3批,至2006年结束。本文将介绍每一期“交付”计划的内容和拟开发的先进的微电子技术项目和特点。这些微电子新技术