论文部分内容阅读
抛光晶片缺陷检测是半导体材料生产和器件生产中的一个重要环节,晶片质量及器件成品率与缺陷检测的成功与否有着相当重要的关系.本文重点介绍了利用我国古代劳动人民发明的透光镜原理建立的抛光晶片激光无损缺陷检测技术和相应的仪器系统,并对一系列缺陷的测试和实验分析结果进行了相应的讨论.
半导体抛光晶片缺陷的光学无损检测研究
【摘 要】
：
抛光晶片缺陷检测是半导体材料生产和器件生产中的一个重要环节,晶片质量及器件成品率与缺陷检测的成功与否有着相当重要的关系.本文重点介绍了利用我国古代劳动人民发明的透
【机 构】
：
信息产业部电子第四十六研究所
【出 处】
：
现代仪器
【发表日期】
：
2001年3期
其他文献
本文提出了一种基于虚拟仪器的火炮身管内径测量仪自动检测平台的方案。采用PC机作为主控制器,对于测径仪在身管内行走进(进、退)进行自动控制;通过串行接口读取激光测距仪(LDM42)和传感器通道箱(X1715)的数据,分别计算得到测径仪位置和内径,在PC机中用LabVIEW编程,进行数据与图形处理,直观地得到身管的内径分布信息。这个方案经实践验证是可行的。
在社会转型过程中,电视媒介对消费生活的关注达到前所未有的程度,以商场购物、住房装修、购买和使用汽车等消费行为为主要内容的节目在电视节目构成中所占比重越来越大。电视
本文以gpC法,测定了硫酸香菇多糖的含量,线性范围0.05～0.5mg(y=-8176x+374628r=0.9999).平均回收率为101.2%.rSd为0.46%.(n=6)并对其分子量进行了测定.比较了不同柱子上硫酸香
本文设计出符合CCSDS标准的Turbo编译码器，包含伪随机序列模块与帧同步模块。在实现编码器时针对标准要求，对伪随机化处理及其恢复和帧同步检测提出了解决方案；而在相应的译码器