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基于DMD的数码全息光刻系统
基于DMD的数码全息光刻系统
来源 :应用激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongtuo97
【摘 要】
:
利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统
【作 者】
:
姜兆华
张伟
吴宾初
沈冠群
王国庆
【机 构】
:
上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室
【出 处】
:
应用激光
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
DMD空间光调制器
激光全息
面阵干涉光刻
数字掩膜
【基金项目】
:
上海市科学技术委员会应用技术开发专项资金项目
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利用DMD空间光调制器与计算机的良好接口和控制系统的可编程性,将其作为二维图像发生器介入激光直写系统;采用高质量相机镜头,设计了基于DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件,并进行了实验,制作了缩微图像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等.
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