【摘 要】
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无油超高真空技术对于电真空器件的研制和生产来说具有特殊的意义,它不但提高了电子管的发射功率,改善耐压性能,提高了管子的合格率和优品率,而且还缩短了排气时间,改善了排
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无油超高真空技术对于电真空器件的研制和生产来说具有特殊的意义,它不但提高了电子管的发射功率,改善耐压性能,提高了管子的合格率和优品率,而且还缩短了排气时间,改善了排气的环境,不怕停电,是电真空器件提高产品质量一个有力的技术措施。钛泵是目前使用最为普遍的无油超高真空泵,它与油扩散泵相比的优点是:避免了油蒸汽的污染,容
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