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介绍了一种新型MOCVD反应腔压力控制系统，采用MKS最新蝶阀T3BI，其内部集成了压力控制器，并且带有压力传感器接口。反应腔内目标压力由主控PC通过工业以太网ProfiNet发送到蝶阀，接下来压力控制子系统即可完成整个压力控制过程。
基于工业以太网的MOCVD反应腔压力控制
【摘 要】
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介绍了一种新型MOCVD反应腔压力控制系统，采用MKS最新蝶阀T3BI，其内部集成了压力控制器，并且带有压力传感器接口。反应腔内目标压力由主控PC通过工业以太网ProfiNet发送到蝶阀，接
【机 构】
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上海蓝宝光电材料有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2010年4期
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