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本文以ＰＭＯＳ结构为研究对象，对其绝缘栅栅氧化过程进行了计算机动态模拟。提出了抑制杂质分凝的栅氧化新模式。
氧化过程中杂质分凝行为的模拟
【摘 要】
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本文以ＰＭＯＳ结构为研究对象，对其绝缘栅栅氧化过程进行了计算机动态模拟。提出了抑制杂质分凝的栅氧化新模式。
【机 构】
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山东工业大学
【出 处】
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山东科学
【发表日期】
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1999年1期
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