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本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放腐蚀模型在具体牺牲层腐蚀结构中的应用,并对腐蚀行为进行了仿真和分析.
表面微机械结构的释放腐蚀模型理论与应用
【摘 要】
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本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放腐蚀模型在具体牺牲层腐蚀结构中的应用,并
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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