释放腐蚀相关论文
本文介绍了HF腐蚀牺牲层二氧化硅的一、二阶混合释放腐蚀模型.以从port到bubble的组合微机械结构为例,深入研究了一、二阶混合释放......
Eaton等人曾给出了HF溶液腐蚀SiO2牺牲层的释放腐蚀模型，然而实验中发现该模型并不能较好地符合实验数据。经分析发现该模型中扩散......
